ZSM Metrology QIM 系列闪测仪
QIM系列是专为用户在生产现场或精测室等各种需要快速准确的高精度测量场合所设计的多传感器光学闪测仪。
其卓越的性能得益于该仪器选用的高精度花岗岩机体和花岗岩测台、优异的机械结构、优质的光学系统以及操作简便的运动控制及数据处理测量软件系统，在先进的装配工艺及调试工艺的加持下，保证了仪器的高精度和长期使用的稳定性。
高精密花岗岩测台配有多个标准螺纹孔，方便用户固定各种通用工装夹具。
QIM系列以紧凑的设计为用户提供广泛的测量功能：
配置：四轴CNC控制系统；单/双远心镜头与500万/2000万像素的高清工业相机结合使用，满足客户在更大范围内的放大倍率下产生清晰的图像-这是进行精确测量的理想先决条件； 远焦平场的透射光源提供了工件轮廓的清晰影像；独立CNC控制升降扇区控制的LED表面光，用户可以灵活而可靠地测量工件表面上的特征；点白光/点激光位移传感器提供空间高度和平面度的测量；第四CNC旋转轴提升闪测对轴类回转体工件的测量能力；附加的同轴入射表面光有助于测量小的和/或深的盲孔。
结合测量软件TOPAS QD的强大功能，快速实现各种尺寸及形位公差的测量，可靠地支持您产品的质量保证！
型号 | QIM 300 | QIM 400 | QIM 500 |
有效光学测量范围（XY）1) | 300×200mm | 400×300mm | 500×400mm |
驱动系统 | 4轴CNC驱动 | ||
数显分辨率 | 0.1 µm | ||
物镜 | 单/双 远心镜头（自动变倍） | ||
放大物镜（倍率） | 0.16X-0.64X | ||
物方视场 | 82×55 mm - 21×14 mm | ||
工业相机 | 500万/2000万 像素高分辨率工业相机 | ||
表面光源 | CNC独立升降环形光源和LED同轴光源 | ||
测台最大承重 | 20 Kg | ||
长度测量不确定度2) EUV,MPE（DIN EN ISO 10360-7，VDI / VDE 2617） L为坐标移动量 | （1）广视野（大视野）模式测量精度 ：无拼接 ±2.5μm，有拼接 ±(3.0+L/100)μm，； （2）高精度（小视野）模式测量精度：无拼接 ±1μm，有拼接 ±(1.5+L/100)μm，； （3）广视野（大视野）模式重复精度：无拼接 ±1μm，有拼接 ± 2μm； （4）高精度（小视野） 模式重复精度：无拼接 ±0.5μm，有拼接 ±1.5μm； | ||
尺寸（WxDxH） | 950×1140×1760mm | 950×1140×1760mm | 950×1350×1760mm |
净重 (约） | 400Kg | 400Kg | 450Kg |
电气连接 | 220-240 V AC, 50-60 Hz, 1KW | ||
测量软件 | TOPAS QD | ||
1）支持XY轴行程定制，Z轴高度150/200/250/300mm可选。
2）使用透射光时有效，允许的环境条件为20°C±1K，温度梯度Δth= 0.5°K
■ 带有多标准螺纹孔位的高精度花岗岩测台
■ CNC控制驱动系统
■ 所有轴的分辨率均为0.1μm的标准品
■ 单/双远心镜头
■ CNC独立升降远心LED表面光源
■ LED同轴表面光源
■ 500万/2000万像素高清工业相机
■ 测量软件TOPAS QD
■ 自动变倍镜头4档位
■ 定制倍率镜头
■ 同轴光系统
■ 第四CNC旋转轴系统
■ 激光/白光测量系统
■ M3 测量软件系统
■ 3D Saphir 7测量软件系统
■ CNC控制第四轴/五轴
■ 对齐角规
■ 对顶尖工装等